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電科裝備科技創新能力再獲表彰
出自:大半導體產業網

日前,北京市科學技術獎勵工作辦公室公示了2019年度北京市科學技術獎各評審委員會項目評審結果,中電科電子裝備集團有限公司(以下簡稱“電科裝備”)牽頭實施的“大束流離子注入機裝備及工藝研發”項目,以同類獎項排名第一的成績,榮獲北京市科學技術進步一等獎。這是自1月份電科裝備參與研制的新一代核心射頻芯片項目獲得“國家科技進步一等獎”以來,在科技創新領域獲得的又一含金量十足的獎項,標志著電科裝備在集成電路核心裝備自主可控方面取得重大突破。

離子注入機是集成電路制造至關重要的核心裝備。



作為電子制造高端裝備領域的“國家隊”,電科裝備始終致力于為國家解決高端裝備關鍵技術自主可控難題,堅持將離子注入機作為產業發展的主攻方向之一。經過數十年的攻關,在國家科技02重大專項等項目的支持下,電科裝備不斷突破離子注入機關鍵核心技術,累計取得發明專利101項,國際專利2項,實現了國產離子注入裝備從消化吸收到自主創新再至產業化的跨越式發展。

構建科技創新體系,打造產業發展的最強“心臟”。電科裝備始終將構建符合離子注入機發展規律的科技創新體系,作為產業發展的核心。不斷拓展型號族譜,實現了離子注入機全譜系產品并用于知名芯片制造企業90nm、55nm、40nm、28nm工藝生產線;通過持續投入,建立了符合SEMI標準的離子注入機批量制造平臺,具備年產30臺的產業化能力;設立了博士后科研工作站,源源不斷輸出技術人才。

搭建符合集成電路高端裝備發展的商業運作模式,打通產業發展的“脈絡”。集成電路裝備的發展需要上下游縱向整合,集合優勢資源共同推進,電科裝備堅持走聯合創新之路,聯合清華大學、中芯國際、上海微系統所等單位齊心推動離子注入機國產化進程。此次榮獲北京市科學技術進步一等獎的大束流離子注入機就是集中力量辦大事的生動實踐;通過推動離子注入機業務公司化運作,引入戰略投資,實施科技成果轉化,人、財、物等各類資源不斷集中,形成了由公司、投資方、骨干員工構成的利益共同體和命運共同體,發展紅利快速釋放,在與世界一流設備廠商同臺競技中,憑借深厚的研發與服務保障能力多次斬獲訂單,市場份額快速提升,真正邁出了產業化、國產替代的堅實步伐。

發展國產裝備,鑄就國芯基石。下一步,電科裝備將緊握“新基建”帶來的新機遇,高舉我國集成電路高端裝備自主可控的旗幟,不斷攻克離子注入機關鍵核心技術,持續推進離子注入機產業化,為我國集成電路產業自主可控發展保駕護航。

北京市科學技術獎由市政府設立,旨在獎勵在北京市科學技術進步活動中做出突出貢獻的個人和組織,調動科技人員的積極性和創造性,加速北京市科技進步,促進首都的經濟建設和社會發展。近年來,北京市科學技術獎勵緊緊圍繞國家重大戰略需求和首都城市發展戰略定位確立獎勵重點,一批立足自主創新、服務經濟社會發展的優秀科技成果,摘得了北京市科學技術獎。這些科研成果的取得,為構建“高精尖”的經濟結構,發揮科技對首都經濟社會發展的支撐引領作用,加快全國科技創新中心建設發揮了重要作用。
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文章收入時間: 2020-04-08
 
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